Apreo LoVac pásztázó elektronmikroszkóp (FEG-SEM)

téremissziós sugárforrással felszerelt SEM, nanométeres felbontással képes a szilárd minták leképezésére, elemi öszetételének meghatározására, valamint szemcseorientációs vizsgálatokra.

A mikroszkóp legfontosabb jellemzői:

- 200 V és 30 kV közötti gyorsítófeszültségen (nyalábfékezéssel akár 20 eV beérkezési energiával) működtethető, ami kis kölcsönhatási energia mellett is nagy kontrasztú leképezést tesz lehetővé;
- nagy- és kisvákuumban is működtethető (a vákuumra érzékeny ill. nem vezető minták is vizsgálhatók); felbontás nagyvákuumban 0,8 nm, kisvákuumban 1,2 nm;
- képalkotás másodlagos elektronokkal (SE, 3 detektor), visszaszórt elektronokkal (BSE, 2 detektor; és transzmissziós (STEM) módban;
- a mikroszkóphoz energiadiszperzív röntgendetektor (EDS) tartozik, amellyel a minta elemi összetételének mennyiségi vizsgálata és elemtérképezése végezhető;
- visszaszórt elektrondiffrakciós detektorral rendelkezik (EBSD), amellyel a kristályos mintákban a szemcseorientációk meghatározhatók.

Gyorsítófeszültség:

- változtatható a 200 V – 30 kV tartományban, kölcsönhatási feszültség („landing voltage”) a 20 V – 30 kV tartományban.

Sugárforrás:

-Schottky téremissziós sugárforrás, amelynek sugárárama (probe current) 400 nA (5 kV gyorsítófeszültségnél).

Vákuumrendszer:

- olajmentes, és mind nagyvákuumban, mind kisvákuumban üzemeltethető a mikroszkóp: nagyvákuum módban 10^-4 Pa; kisvákuum módban 500 Pa.

Felbontás

- 15 kV gyorsítófeszültségnél nagyvákuum módban 1,0 nm; kisvákuum módban 1,2 nm.
- 1 kV gyorsítófeszültségnél, nyalábfékezés nélkül, nagyvákuum módban 1,3 nm.

Elektronoptika és pásztázó elektronika:

- külső mágneses tértől mentes objektívlencse; változtatható pixelsűrűségű pásztázás, driftkompenzáció.

Mintaasztal, mintatartók:

- x-y irányban 110×110 mm, z irányban 65 mm mozgást engedő, dönthető és forgatható, mind az 5 tengelyen motorizált, eucentrikus és kompucentrikus mintaasztal; 18 pozíciós SEM mintatartó; vízszintes, 6 pozíciós STEM mintatartó blokk.

Everhart-Thornley SE detektor; kisvákuumhoz SE detektor; ”in-lens” SE és BSE detektor; motorizáltan visszahúzható, szilárdtest-BSE detektor; motorizáltan visszahúzható, sugármenetbe illeszthető gyűrűs, többszegmensű STEM detektor, amely világos és sötét látóterű leképezéshez is alkalmas.

EDS rendszer:

- Be és annál nehezebb elemek detektálására alkalmas, könnyűelemes ablakkal ellátott,
- folyékony nitrogén nélkül üzemeltethető Si drift detektor. 30 mm2 aktív felület;
- analitikai munkatávolság mellett 35˚ kilépési szög; 129 eV felbontás (Mn Kα csúcsnál, 100000 beütésszám/sec mellett);
- alacsony holtidejű jelfeldolgozó egység;
- többpontos, vonal menti elemzés és ultragyors elemtérképezés;
- pontonkénti spektrális adatbázis felvétele és utólagos kiértékelése;
- elemtérképezésnél driftkorrekció;

Visszaszórt elektrondiffrakciós detektor (electron backscattered diffraction, EBSD):

- függőlegesen pozícionálható,
- nagysebességű EBSD detektor;
- szimultán EBSD és EDX adatgyűjtés,
- 1000 pont/másodperc sebesség;
- automatikus kalibráció;
- fázisazonosítás (a rendszer tartalmazza az ehhez szükséges krisztallográfiai fázisok adatbázisát);
- indexelés és kristálytani orientáció-meghatározás;
- szemcsehatárok elemzése,
- orientációs eloszlásfüggvény számolása,
- 3D pólustérkép megjelenítése