A Talos F200X G2 elektronmikroszkóp
...hagyományos transzmissziós (TEM) és pásztázó sugaras transzmissziós (STEM) módban is üzemeltethető. A műszerrel egyidejűleg nyerhető képi, szerkezeti (diffrakciós) és kémiai információ a vizsgált anyagról, a mikrométerestől az atomi felbontásig.
|
|
A mikroszkóp legfontosabb jellemzői:
- alkalmas atomi felbontású (0,12 nm) TEM felvételek készítésére és a szerkezet elektrondiffrakciós vizsgálatára;
- a hagyományos transzmisszós mód (TEM) mellett a fókuszált sugárnyaláb mozgatásán alapuló, pásztázó módban (STEM) is működtethető, 0,135 nm pontfelbontással;
- a mikroszkóp oszlopába épített, négy egységből álló energiadiszperzív röntgendetektor (EDS) lehetővé teszi a minta elemi összetételének mennyiségi vizsgálatát és a nagy sebességű elemtérképezést;
- téremissziós sugárforrással (X-FEG) rendelkezik, elektronnyalábjának átmérője 0,15 nm, ezáltal a műszer pásztázó módban szubnanométeres felbontású analitikai vizsgálatra is alkalmas;
- speciális mintatartók és szoftver révén 3D tomográfiás morfológiai és összetételi elemzés a nanométeres tartományban.
|
|
|
A műszer fő paraméterei: |
|
|
Gyorsítófeszültség: - változtatható a 20 kV – 200 kV tartományban.
Sugárforrás: - nagy fényerejű, X-FEG téremissziós sugárforrás, fényesség 1.8×109 A/cm2 srad (@ 200 kV); - ≥ 50 nA nyalábáram; - 1 nm sugárátmérőnél 1,5 nA áramsűrűség (probe current); - a sugár 0,4 nm sugárátmérőig fókuszálható.
Elektronoptika: - elforgatásmentes leképezést lehetővé tévő, állandó áramú, X-TWIN objektívlencse; - automata apertúrarendszer; - elektronoptikai beállítások tárolhatók; - beépített elektronika (eltérítő tekercsek) a STEM módbeli pásztázáshoz.
Felbontás: - pásztázó módban, nagyszögű, gyűrűs, sötét látóterű (HAADF) detektorral 0,135 nm (gyárilag 0.167 garantált); - transzmissziós módban (TEM) információlimit 0,12 nm; - TEM pontfelbontás 0,25 nm.
|
|
|
Mintatartók:
- általános, egy tengely mentén dönthető mintatartó; - két tengely mentén, ±30°-ban dönthető, alacsony hátterű (minimális árnyékolást biztosító, könnyűfém (Be) alkatrészeket tartalmazó), EDS-hez optimalizált analitikai mintatartó; - nagy látómezőt biztosító mintatartó tomográfiás leképezéshez, ±80°-os döntéssel.
Mintaasztal: - piezoelektromosan vezérelt X, Y irányú mozgatás (legkisebb lépésköz 0,02 nm) a driftmentes leképezéshez.
Képrögzítés: - nagyszögű gyűrűs, sötét látóterű (HAADF) detektor; - az optikai tengelyen elhelyezkedő világos/sötét látóterű detektor; STEM képpontok száma: 4k × 4k; 4 egyidejűleg gyűjthető STEM csatorna; - SmartCam digitális keresőkamera; - Ceta 16 Mpixel, 4k x 4k CMOS kamera széles látószöggel, 16 bit színmélységgel és gyors kiolvasási sebességgel (30 fps).
|
|
|
Energiadiszperzív röntgenspektrométer (EDS):
- a mikroszkóppal egybeépített, ablakmentes vagy ultravékony ablakos, „Super-X” detektorrendszer 4 szilícium drift detektorral (SDD) (melyek egyenként ki- illetve bekapcsolhatók); - jelgyűjtési térszög ≥ 0,9 srad; - 140 eV spektrális felbontás a Mn Kα csúcsánál; - gyors EDS térképezés (10 µs dwell time/pixel); - minőségi és mennyiségi kiértékeléshez 64 bit Windows platformon működő szoftver, számítógéppel.
|
|
|
Elektrontomográfia:
- TEM tomográfiához adatgyűjtő szoftver (döntési sorozatok automatikus felvétele, a képek illesztése és automatikus fókuszálás); - STEM tomográfiához adatgyűjtő szoftver; - EDS tomográfiához adatgyűjtő szoftver; - Inspect 3D és Avizo szoftver a képsorozatok tomografikus feldolgozásához és a 3D rekonstrukciók megjelenítéséhez.
Egyéb:
- beépített, VELOX mikroszkópvezérlő szoftver; - távoli mikroszkópvezérlés.
|
|
|